• pXHメカニカル真空ブースタ ポンプ

    pXHポンプは 新世代の大型メカニカル ブースタであり、設置面積の削減を達成しつつ 高い排出能力を実現します。6965~8358 m3/hの設計排気速度(排出量)で利用でき、 インバーター駆動式制御を搭載した個別のポンプとしてパッケージ化されています。過酷なプロセスに耐えられるよう設計されており、 大規模な設置ベースによる現場で実証された信頼性があります。

    pXHは Edwardsが産業用途向けに開発したオンボード制御型の最新世代のドライ ポンプであるGXSと容易に統合することができ、 高い排気速度のドライ ポンプ システムに組み込むことができます。



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