• iXL高パフォーマンス ドライ真空ポンプ

    iXLファミリのドライ ポンプは、 フラット パネル ディスプレイ (FPD)、半導体、および太陽電池製造の市場部門で直面する幅広いポンプ ダウン要件に対応しています。

    最先端のパフォーマンスを提供するこれらのポンプは、 最小限の電力、設置面積、重量で、基板スループットを最大化するように 設計されています。さらに、オーバーホール以外の保守は 必要ありません。


        

    Standard_Body_Image_iXL_Pumps

  • Small iXL Dry Pumps for Semi & Solar Applications
    Large iXL Dry Pumps for Harsh Applications
    IPUP for Applied Materials Process Platforms
  • Our History

    When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.

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