• iGX 乾燥真空ポンプシステム

    iGXドライ真空ポンプは、 オーバーホールの間の保守をまったく必要としない最先端ドライ ポンプの新標準を打ち立てました。これにより、 世界でもっとも人気のあるドライ ポンプの1つとなっており、20,000台を超える装置が 最先端の300mm工場で導入されています。 iGXシリーズではMicroTIMツール インタフェースとイーサネット接続の両方が含まれており、主要なデータをWeb ページや包括的な一連のネットワーク オプションで参照でき、 継続的にポンプを使用できるようにします。

    iGXポンプには、さまざまなピーク排気速度のモデルがあるため、 クリーン プロセスからミディアム デューティ プロセスまで、 幅広い用途に対応できます。モジュール式であるため、iGXドライ ポンプを 個々の製造工場の要件に合わせて構成できます。取り付け面積が小さいため、 オンツール、近接、遠隔など、さまざまな設置方法を選択できます。

    iGXドライ ポンプ技術を活用することで、一般的に工場全体のユーティリティ コストを40%* 節約できます (iL/iHドライ ポンプと比較)。  

    *米国の 300mm工場に基づく。200台のツール、537台のポンプ(70%はiGXポンプ、30%は iHポンプ) 定流量給水バルブ装着状態でのiGX。


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  • Applications
    Key Features & Benefits
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  • Our History

    When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.

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  • Product Documentation

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    iGX Dry Pumps Product Brochure

  • FabWorks Obsolescence

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    Edwards has obsoleted all FabWorks and pre-FabWorks Equipment Monitoring products on January 15, 2017

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