• STP磁気浮上ターボ分子真空ポンプ

    EdwardsのSTP磁気浮上ターボ分子ポンプは、 いつでも一貫性と信頼性の高い性能を実現し、保守を まったく必要としません。

    最初のSTP磁気浮上ターボ分子ポンプの販売は1983年で、現在では、世界中に166,000を超えるポンプが 取り付けられています。85%は半導体プロセス ツールで稼働しており、 卓越したレベルの性能と信頼性が実証されています。 

    STP磁気浮上ターボ分子ポンプは、 優れた稼働時間、炭化水素を使用しないポンプ、 最低限の保守、および低振動が要求される用途における最初の選択肢です。ロータは 磁気軸受けによって完全に浮いているため、ロータとポンプの残り部分は 一切接触しません。また、非常に低振動であるため、接触がないということは、 ロータが回転する際に軸受けの接触がなく、 結果として生じるポンプの 保守も不要であることを意味します。

    エネルギー節約技術が 製品開発の設計段階に組み込まれているため、 品質や性能に妥協することなく消費電力の削減と動作効率が 保証されます。

    • 生産性の向上: 
      ベース圧力までの迅速なポンプ ダウン
    • コンパクトなサイズ:
    • 低い 所有コスト: 
    • 保守が不要:

  • Applications
    Product Ranges
    STP Controllers
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