• EPX真空ドライ ポンプ

    EPXシリーズは、 アッシュ/ストリップおよびインプラント エンド ステーション アプリケーションなど、クリーンで低負担の半導体処理アプリケーションを サポートします。

    EPXシリーズは非常に小型軽量なパッケージながら オンツール ポンプ機能を提供し、非常にクリーンな真空を実現します。特許取得済みの 独自の単一軸再生式Holweck®ステージ メカニズムを使用すれば、EPXポンプは 大気圧から7 x 10-7 Torrの到達圧力までの排気が可能です。

    EPXポンプはモジュール式パッケージにおける高い性能を提供しており、 プロセス ツールに統合したり、離れた場所に取り付けたりすることが できます。また、統合型MicroTIMエレクトロニクスもプロセス ツールへの シンプルな通信接続を提供します。


  • Applications
    Key Features & Benefits
    Pump Ranges
  • Our History

    When F.D. Edwards began manufacturing vacuum equipment in 1939, he made a commitment to technical innovation that remains solidly at the heart of what we do today.

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